MEMS微型皮拉尼真空傳感器具有更高的精度、可重復性和更低功耗。

傳統的皮拉尼真空傳感器使用熱線或熱敏電阻，通過監測熱線或熱敏電阻在真空環境中的熱傳遞來測量真空。博思發科技公司通過將皮拉尼傳感器的所有部件微加工成單一的集成微結構，徹底改變了使用熱導率測量真空壓力的方式。由此產生的微型皮拉尼真空傳感器具有更高精度、可重復性、測量范圍和更低功耗，允許工程師設計出比以往設備大大縮小的真空測量產品和應用。博思發科技公司的傳感器采用先進的CMOS半導體工藝，具有卓越的性能和可擴展性，在確保高品質的同時，實現了較低的生產成本。

PVC1000 系列

采用TO5或TO46金屬封裝的MEMS微型皮拉尼真空傳感器。