[ 導讀 ] 汽車工業是傳感器的一個重要應用領域。每臺汽車會有40到上百個傳感器，而汽車智慧化的發展趨勢也將促進汽車市場對傳感器的需求。其應用方向和市場需求包括車輛的防抱死系統(ABS)、電子車身穩定程序(ESP)、電控懸掛(ECS)、電動手剎(EPB)、斜坡起動輔助(HAS)、胎壓監控(EP

　　ADI微機械產品線高級應用工程師 趙延輝

　　·MEMS的技術發展趨勢主要表現在以下幾個方面：第一，微型化的同時降低功耗。第二，微型化的同時提高精度。第三，集成化及智慧化趨勢。

　　目前，MEMS傳感器主要應用在汽車、醫療和消費電子三大領域。

　　應用三大領域汽車、醫療、消費電子

　　汽車工業是傳感器的一個重要應用領域。每臺汽車會有40到上百個傳感器，而汽車智慧化的發展趨勢也將促進汽車市場對傳感器的需求。其應用方向和市場需求包括車輛的防抱死系統(ABS)、電子車身穩定程序(ESP)、電控懸掛(ECS)、電動手剎(EPB)、斜坡起動輔助(HAS)、胎壓監控(EPMS)、引擎防抖、車輛傾角計量和車內心跳檢測等等。其中電子車身穩定程序ESP得到眾MEMS廠商的高度關注。由于其主動防滑功能要求更多的傳感器和先進的處理系統，因此將帶動汽車電子MEMS傳統應用市場的需求。

　　隨著人口老齡化和中國醫療保健系統的健全，各種遠距離監護和高精度治療設備將越來越多地被引入。醫療保健市場逐漸成為MEMS傳感器應用的又一大市場。MEMS具有微型的特點，可以代替器官植入、微量檢測，主要的發展方向是血管內手術和顱內手術以及細胞手術。

　　MEMS傳感器在消費電子領域中主要應用于運動/墜落檢測、導航數據補償、游戲/人機界面、電源管理、GPS增強/盲區消除、速度/距離計數、其他體育和保健應用等等。這些MEMS技術都在很大程度上提高了用戶體驗，并帶來了全新的電子消費產品。其中加速度計是該市場中第一大應用產品。而近期陀螺儀增長迅速，已經成為繼加速度計后的第二大應用產品。

　　MEMS麥克風最近幾年一直保持著很高的增長率。以智能手機、平板電腦和超級本為代表，消費電子市場的飛速發展極大地推動著MEMS麥克風產品的需求和發展。Yole Developpement的分析數據顯示：2010年～2016年，MEMS麥克風市場總體出貨量將保持23%的水平;據預測，MEMS麥克風出貨量2013年將達到10億顆，2016年將接近20億顆。從具體應用市場來看，在MEMS麥克風應用最為廣泛的手機終端市場中，2016年MEMS麥克風的出貨量將接近市場總量的一半。

　　除去以上三個領域，在工業領域中，MEMS也有很多的應用。小體積、低成本的MEMS傳感器越來越多地用在各種機械振動監測上，它可以用來監測馬達、軸承等的振動，從而實現預見性維護;利用MEMS加速度計實現的傾角儀也被廣泛用在各種工業測量設備上;還有遙控直升機的伺服系統、兩輪車的平衡系統、天線穩定平臺等。

　　技術三個方向低功[FS:PAGE]耗、高精度、智能化

　　從未來的發展趨勢上看，MEMS技術主要表現在以下幾個方面：第一，微型化的同時降低功耗，將會出現微米甚至納米級別的微型器件，同時降低功耗;第二，微型化的同時提高精度，將MEMS加速度計做到石英加速度計的噪聲特性，保證MEMS陀螺儀小體積的同時獲得光纖陀螺儀的零偏穩定性;第三，集成化及智慧化趨勢，即MEMS與IC的集成制造技術及多參量MEMS傳感器的集成制造技術得到發展，以及在集成化基礎上使得信號檢測具有一定的智能。這些趨勢要求半導體廠商提供更高精度、穩定性更好、更智能的高集成度MEMS傳感器模塊。基于此，ADI繼續將重點放在開發MEMS傳感器的核心技術上，以提供最好的工業級加速度計和陀螺儀。同時，ADI還將繼續提供更多高集成度的MEMS傳感器，以適應不同市場的需求。

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